工标网 回首页
标准分类  最新标准New!  标准公告 标准动态  标准论坛
 高级查询
帮助 | 登录 | 注册
查标准上工标网 免费查询标准最新替代作废信息
 您的位置:工标网 >> 国家标准(GB) >> GB/T 16878-1997

用于集成电路制造技术的检测图形单元规范

国家标准
标准编号:GB/T 16878-1997 标准状态:现行
标准价格:31.0 客户评分:星星星星1
本标准有现货可当天发货一线城市最快隔天可到!
点击放入购物车 如何购买?问客服 放入收藏夹,免费跟踪本标准更替信息! 参与评论本标准
标准简介
本规范规定若干种标准测试图形,用以对集成电路生产中所用的微图形设备、计量仪器和工艺进行一致的全面评估和检测。
英文名称:  Specification for metrology pattern cells for integrated circuit manufacture
什么是中标分类? 中标分类:  电子元器件与信息技术>>电子工业生产设备>>L97加工专用设备
什么是ICS分类?  ICS分类:  电子学>>31.200集成电路、微电子学
什么是采标情况? 采标情况:  SEMI P19-1992,IDT
发布部门:  国家技术监督局
发布日期:  1997-06-20
实施日期:  1998-03-01
首发日期:  1997-06-20
复审日期:  2004-10-14
什么是归口单位? 归口单位:  全国半导体材料和设备标准化技术委员会
主管部门:  国家标准化管理委员会
起草单位:  中国科学院缩微电子中心
页数:  平装16开, 页数:14, 字数:24千字
出版社:  中国标准出版社
书号:  155066.1-14349
出版日期:  2004-04-11
标准前页: 浏览标准前文  || 下载标准前页   
相关搜索: 生产 集成电路 集成电路工艺 模型 检测  [ 评论 ][ 关闭 ]

加工专用设备相关标准 第1页 第2页 第3页 第4页 第5页 更多>> 
 GB/T 16880-1997 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则
 GB/T 43725-2024 直写成像式曝光设备
 GB/T 43796-2024 集成电路封装设备远程运维 数据采集
 GB/T 43972-2024 集成电路封装设备远程运维 状态监测
 SJ 1000-1975 引伸凸模
 SJ 1001-1975 首次引伸压边圈
 SJ 1002-1975 以后各次引伸压边圈
 SJ 1003-1975 通用模架
 SJ 1004-1975 上托
 SJ 1005-1975 底座
 免费下载加工专用设备标准相关目录

集成电路、微电子学相关标准 第1页 第2页 第3页 第4页 
 GB/T 17024-1997 半导体器件 集成电路 第2部分:数字集成电路 第三篇 HCMOS数字集成电路54/74HC、54/74HCT、54/74HCU系列空白详细规范
 GB/T 17571-1998 碱性二次电池和电池组 扣式密封镉镍可充整体电池组
 GB/T 17572-1998 半导体器件 集成电路 第2部分:数字集成电路 第四篇 CMOS数字集成电路4000B和4000UB系列族规范
 GB/T 17574-1998 半导体器件 集成电路 第2部分:数字集成电路
 GB/T 17574.11-2006 半导体器件 集成电路 第2-11部分:数字集成电路 单电源集成电路电可擦可编程只读存储器 空白详细规范
 GB/T 17574.20-2006 半导体器件 集成电路 第2-20部分:数字集成电路 低压集成电路族规范
 GB/T 17574.9-2006 半导体器件 集成电路 第2-9部分:数字集成电路紫外光擦除电可编程MOS只读存储器空白详细规范
 GB/T 17864-1999 关键尺寸(CD)计量方法
 GB/T 17865-1999 焦深与最佳聚焦的测量规范
 GB/T 17866-1999 掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则
 免费下载集成电路、微电子学标准相关目录

 发表留言
内 容
  用户:   口令:  
 
 
客服中心
有问题?找在线客服 点击和客服交流,我们的在线时间是:工作日8:30至18:00,节假日;9:00至17:00。工标网欢迎您和我们联系!
未开通400地区或小灵通请直接拨打0898-3137 2222 400-7255-888
客服QQ 1197428036 992023608
MSN或电子邮件 18976748618 13876321121
温馨提示:标准更新替换较快,请注意您购买的标准时效性。
常见问题 帮助中心
我为什么找不到我想要的标准?
配送范围、配送时间和收费标准
如何付款,支持哪些付款方式?
您可能还需要 更多
以后各次引伸压边圈
引伸凸模 SJ 1000-1975
首次引伸压边圈 SJ 1001-1975
芯柱切断整形机完好要求和检查评定方法..
TD75型固定式皮带机完好要求和检查..
底座 SJ 1005-1975
通用模架 SJ 1003-1975
上托 SJ 1004-1975
必备软件下载
Adobe Acrobat Reader 是一个查看、 阅读和打印PDF文件的最佳工具,通 过它可以查阅本站的标准文档
pdf下载
搜索更多
google 中搜索:GB/T 16878-1997 用于集成电路制造技术的检测图形单元规范
baidu 中搜索:GB/T 16878-1997 用于集成电路制造技术的检测图形单元规范
yahoo 中搜索:GB/T 16878-1997 用于集成电路制造技术的检测图形单元规范
soso 中搜索:GB/T 16878-1997 用于集成电路制造技术的检测图形单元规范
中搜索:GB/T 16878-1997 用于集成电路制造技术的检测图形单元规范
 
付款方式 - 关于我们 - 帮助中心 - 联系我们 - 诚聘英才 - 合作伙伴 - 使用条款
QQ:1197428036 992023608 有问题? 联系在线客服
Copyright © 工标网 2005-2023,All Right Reserved