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标准编号 标准名称 发布部门 实施日期 状态  GB/T 11073-1989  硅片径向电阻率变化的测量方法 国家技术监督局 1990-02-01 作废  GB 11093-1989  液封直拉法砷化镓单晶及切割片 中国有色金属工业协. 1990-03-01 作废  GB 11297.6-1989  锑化铟单晶位错蚀坑的腐蚀显示及测量方法 机械电子工业部 1990-01-01 现行  GB 11297.7-1989  锑化铟单晶电阻率及霍耳系数的测试方法 机械电子工业部 1990-01-01 现行  GB 11496.3-1989  彩色显示管用Y30-R1荧光粉 机械电子工业部 1990-03-01 作废  GB/T 13387-1992  电子材料晶片参考面长度测量方法 国家技术监督局 1992-10-01 作废  GB/T 13388-1992  硅片参考面结晶学取向X射线测量方法 国家技术监督局 1992-10-01 作废  GB/T 13389-1992  掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程 国家技术监督局 1992-10-01 作废  GB/T 13840-1992  晶片承载器 国家技术监督局 1993-08-01 作废  GB/T 13843-1992  蓝宝石单晶抛光衬底片 国家技术监督局 1993-08-01 废止  GB/T 14015-1992  硅--蓝宝石外延片 国家技术监督局 1993-08-01 现行  GB/T 14139-1993  硅外延片 国家技术监督局 1993-10-01 作废  GB/T 14141-1993  硅外延层,扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法 国家技术监督局 1993-10-01 作废  GB/T 14142-1993  硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法 国家技术监督局 1993-10-01 作废  GB/T 14143-1993  300？900 UM 硅片间隙氧含量红外吸收测量方法 国家技术监督局 1993-10-01 作废  GB/T 14144-1993  硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法 国家技术监督局 1993-10-01 作废  GB/T 14145-1993  硅外延层堆垛层错密度测定干涉相衬显微镜法 国家技术监督局 1993-10-01 作废  GB/T 14146-1993  硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容--电压法 国家技术监督局 1993-10-01 作废  GB/T 14264-1993  半导体材料术语 国家技术监督局 1993-01-02 作废  GB/T 1475-1989  镓 1990-01-01 作废  GB/T 14844-1993  半导体材料牌号表示方法 国家技术监督局 1994-09-01 作废  GB/T 14847-1993  重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法 国家技术监督局 1994-09-01 作废  GB/T 14849.1-1993  工业硅化学分析方法 1,10--二氮杂菲分光光度法测定铁量 国家技术监督局 1994-09-01 作废  GB/T 14849.2-1993  工业硅化学分析方法 铬天青-S分光光度法测定铝量 中国有色金属工业协. 1994-09-01 作废  GB/T 14849.3-1993  工业硅化学分析方法 钙量的测定 中国有色金属工业协. 1994-09-01 作废  GB/T 14863-1993  用栅控和非栅控二极管的电压-电容关系测定硅外延层中净载流子浓度的标准方法 国家技术监督局 1994-10-01 作废  GB/T 14898-1994  人造金刚石用石墨片 1994-10-01 作废  GB 2881-1991  工业硅技术条件 国家技术监督局 1992-06-01 作废  GB 4298-1984  半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法 国家标准局 1985-03-01 废止  GB/T 4326-1984  非本征半导体单晶霍尔迁移率和霍尔系数测量方法 国家标准局 1985-03-01 作废  GB/T 5238-1995  锗单晶 国家技术监督局 1996-03-01 作废  GB/T 5252-1985  锗单晶位错腐蚀坑密度测量方法 中国有色金属工业协. 1986-07-01 作废  GB/T 6616-1995  半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测定 非接触涡流法 国家技术监督局 1995-01-02 作废  GB/T 6617-1995  硅片电阻率测定 扩展电阻探针法 国家技术监督局 1995-01-02 作废  GB/T 6618-1995  硅片厚度和总厚度变化测试方法 国家技术监督局 1995-01-02 作废  GB/T 6619-1995  硅片弯曲度测试方法 国家技术监督局 1995-01-02 作废  GB/T 6620-1995  硅片翘曲度非接触式测试方法 国家技术监督局 1995-01-02 作废  GB/T 6621-1995  硅抛光片表面平整度测试方法 国家技术监督局 1995-01-02 作废  GB/T 6624-1995  硅抛光片表面质量目测检验方法 国家技术监督局 1995-01-02 作废  GB 6627-1986  人造石英晶体棒材型号命名方法 国家标准局 1987-06-01 现行

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