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半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法

国家标准
标准编号:GB 4298-1984 标准状态:已废止
标准价格:31.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准适用于单晶硅、多晶硅中金属杂质素和非金属杂质素含量的测定。本标准包括杂质素(十六个)的反应堆中子活化仪器分析方法、铜和砷的反应堆中子活化放射化分离分析方法、磷的反应堆中子活化放射化分离分析方法、氧的α粒子活化仪器分析方法和碳的氘子活化仪器分析方法。
英文名称:  The activation analysis method for the determination of elemental impurities in semiconductor silicon materials
标准状态:  已废止
什么是替代情况? 替代情况:  废止公告:国家标准公告2017年第31号
什么是中标分类? 中标分类:  冶金>>金属化学分析方法>>H17半金属及半导体材料分析方法
什么是ICS分类?  ICS分类:  29.040.30
什么是UDC分类?  UDC分类:  669.782;543.06;621.315.592
发布部门:  国家标准局
发布日期:  1984-03-28
实施日期:  1985-03-01
作废日期:  2017-12-15
首发日期:  1984-03-28
复审日期:  2004-10-14
提出单位:  有色金属总公司
什么是归口单位? 归口单位:  中国有色金属工业协会
主管部门:  中国有色金属工业协会
起草单位:  有色金属研究总院
起草人:  周云鹿、章家鼎
页数:  18页
出版社:  中国标准出版社
出版日期:  1985-03-01
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