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| 英文名称： |
Wafer carriers |
| 标准状态： |
已作废 |
 替代情况： |
作废; |
| 中标分类： |
电子元器件与信息技术>>电子工业生产设备>>L97加工专用设备 |
| ICS分类： |
29.040.30 |
| UDC分类： |
621.382.032.9 |
| 采标情况： |
SEMI E1,REF;SEMI E2,REF |
| 发布部门： |
国家技术监督局 |
| 发布日期： |
1992-01-02 |
| 实施日期： |
1993-08-01
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| 作废日期： |
2005-10-14
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| 首发日期： |
1992-12-28 |
| 复审日期： |
2004-10-14 |
| 归口单位： |
信息产业部（电子） |
| 主管部门： |
信息产业部（电子） |
| 起草单位： |
机电部电子标准化所 |
| 页数： |
平装16开， 页数：11， 字数：18千字 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 书号： |
155066.1-9646 |
| 出版日期： |
2004-08-09 |
| 标准前页： |
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