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| 英文名称： |
Micro-electromechanical system(MEMS) technology—Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film |
| 标准状态： |
即将实施 |
 中标分类： |
电子元器件与信息技术>>微电路>>L59微型组件 |
| ICS分类： |
电子学>>半导体器件>>31.080.99其他半导体器件 |
| 采标情况： |
IEC 62047-30:2017 |
| 发布部门： |
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2024-09-29 |
| 实施日期： |
2025-01-01
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| 提出单位： |
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
| 归口单位： |
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
| 起草单位： |
北京自动化控制设备研究所、安徽奥飞声学科技有限公司、芯联集成电路制造股份有限公司、中机生产力促进中心有限公司、苏州大学、无锡华润上华科技有限公司、太原航空仪表有限公司、中国航天科工飞航技术研究院、山东中康国创先进印染技术研究院有限公司等 |
| 起草人： |
王永胜 张红宇 安志武 李根梓 张菁华 孙立宁 苏翼 张新伟 李拉兔 刘会聪 邢文忠 徐堃 毛志平 路文一 单伟中 许克宇 王志广 汤一 要彦清 娄亮 郑冬琛 陈得民 姚鹏 胡晓东 卢弈鹏 袁长作 仲胜利 侯杰 陈福操 李树成 王志宏 |
| 页数： |
20页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |