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微机电系统(MEMS)技术 传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法

国家标准
标准编号:GB/T 44513-2024 标准状态:即将实施
标准价格:43.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本文件描述了在环境应力(温度和湿度)、机械应力和应变下,评估MEMS压电薄膜材料耐久性的试验方法,以及用于质量评估的试验条件。本文件具体描述了在温度、湿度条件和外加电压下测量被测器件耐久性的试验方法和试验条件。
本文件适用于评估MEMS压电薄膜材料的耐久性和质量,也适用于评估在硅衬底上形成的压电薄膜的正压电性能,例如用作声学传感器或悬臂式传感器的压电薄膜。
本文件不包括可靠性评估,如基于威布尔分布预测压电薄膜寿命的方法。
英文名称:  Micro-electromechanical systems(MEMS) technology—Environmental test methods of MEMS piezoelectric thin films for sensor application
标准状态:  即将实施
什么是中标分类? 中标分类:  电子元器件与信息技术>>微电路>>L59微型组件
什么是ICS分类?  ICS分类:  电子学>>半导体器件>>31.080.99其他半导体器件
什么是采标情况? 采标情况:  IEC 62047-37:2020
发布部门:  国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期:  2024-09-29
实施日期:  2025-01-01  即将实施 距离实施日期还有9
提出单位:  全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
什么是归口单位? 归口单位:  全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
起草单位:  昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司、中用科技有限公司、中机生产力促进中心有限公司、苏州大学、成都航天凯特机电科技有限公司、武汉大学、北京智芯微电子科技有限公司、无锡华润上华科技有限公司、昆山双桥传感器测控技术有限公司、深圳市美思先端电子有限公司等
起草人:  陈立国、江大白、李根梓、刘会聪、蒋礼平、刘胜、方东明、夏长奉、王冰、周维虎、许宙、钟鸣、张硕、孙旭辉、夏燕、娄亮、程新利、杨剑宏、陈志文、张中飞、胡增、商艳龙、王阳俊、高峰、卢弈鹏、袁长作、仲胜利、李海全、钱勇国
页数:  20页【彩图】
出版社:  中国标准出版社
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