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L55/59 微电路
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标准编号
标准名称
发布部门
实施日期
状态
GB/T 26111-2023
微机电系统(MEMS)技术 术语
国家市场监督管理总局.
2023-09-01
现行
GB/T 42158-2023
微机电系统(MEMS)技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法
国家市场监督管理总局.
2023-07-01
现行
GB/T 42191-2023
MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法
国家市场监督管理总局.
2023-09-01
现行
GB/T 42597-2023
微机电系统(MEMS)技术 陀螺仪
国家市场监督管理总局.
2023-09-01
现行
GB/T 42895-2023
微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法
国家市场监督管理总局.
2023-12-01
现行
GB/T 42896-2023
微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法
国家市场监督管理总局.
2023-12-01
现行
GB/T 42897-2023
微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法
国家市场监督管理总局.
2023-12-01
现行
SJ 20527/5-2002
微波组件 WFK170018型单刀七掷开关详细规范
信息产业部
2002-01-01
现行
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现行
即将实施
作废
废止
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