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硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范

国家标准
标准编号:GB/T 32816-2016 标准状态:现行
标准价格:38.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了采用以深刻蚀与键合为核心的工艺集成进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。本标准适用于基于以深刻蚀与键合为核心的工艺集成的加工和质量检验。
英文名称:  Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the combinationof the deep etching and bonding process
什么是中标分类? 中标分类:  电子元器件与信息技术>>微电路>>L55微电路综合
什么是ICS分类?  ICS分类:  电子学>>31.200集成电路、微电子学
发布部门:  中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期:  2016-08-29
实施日期:  2017-03-01
提出单位:  全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
什么是归口单位? 归口单位:  全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
起草单位:  北京大学、中机生产力促进中心、大连理工大学、北京青鸟元芯微系统科技有限公司
起草人:  张大成、杨芳、李海斌、王玮、何军、黄贤、刘冲、刘伟、邹赫麟、田大宇、姜博岩
页数:  20页
出版社:  中国标准出版社
出版日期:  2017-03-01
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