半导体器件生产用扩散炉测试方法 |
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| 标准编号：SJ 2065-1982 |
标准状态：现行 |
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| 标准价格：12.0 元 |
客户评分：  |
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| 英文名称： |
Testing method for diffusion furnace for semiconductor device manufacturing |
 中标分类： |
医药、卫生、劳动保护>>医药、卫生、劳动保护综合>>C01技术管理 |
| 发布日期： |
1982-02-18 |
| 实施日期： |
1982-07-01
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| 页数： |
6页 |
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