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硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法

国家标准
标准编号:GB/T 42263-2022 标准状态:现行
标准价格:29.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本文件描述了硅单晶中氮含量的二次离子质谱测试方法。
本文件适用于硼、锑、砷、磷的掺杂浓度小于1×1020cm-3(0.2%)的硅单晶中氮含量的测定,测定范围不小于1×1014cm-3。
注:硅单晶中氮含量以每立方厘米中的原子数计。
英文名称:  Determination of nitrogen content in silicon single crystal—Secondary ion mass spectrometry method
什么是中标分类? 中标分类:  冶金>>金属化学分析方法>>H17半金属及半导体材料分析方法
什么是ICS分类?  ICS分类:  冶金>>77.040金属材料试验
发布部门:  国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期:  2022-12-30
实施日期:  2023-04-01
提出单位:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
什么是归口单位? 归口单位:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
起草单位:  中国电子科技集团公司第四十六研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司
起草人:  马农农、何友琴、李素青、陈潇、刘立娜、何烜坤
页数:  12页
出版社:  中国标准出版社
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