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| 英文名称： |
Monocrystalline silicon etched wafers |
 中标分类： |
冶金>>半金属与半导体材料>>H82元素半导体材料 |
| ICS分类： |
电气工程>>29.045半导体材料 |
| 发布部门： |
中华人民共和国工业和信息化部 |
| 发布日期： |
2016-07-11 |
| 实施日期： |
2017-01-01
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| 复审日期： |
2022-01-10 |
| 提出单位： |
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243) |
| 归口单位： |
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243) |
| 主管部门： |
工业和信息化部 |
| 起草单位： |
天津市环欧半导体材料技术有限公司、天津中环领先材料技术有限公司、洛阳鸿泰半导体有限公司、有研半导体材料有限公司、杭州海纳半导体有限公司 |
| 起草人： |
由佰玲、张雪囡、蒋建国、孙燕、王飞尧、沈浩平 |
| 页数： |
12页【彩图】 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 出版日期： |
2018-09-01 |