硅片边缘轮郭检验方法 |
 |
| 标准编号：YS/T 26-1992 |
标准状态：已作废 |
|
| 标准价格：14.0 元 |
客户评分：  |
|
|
本标准有现货可当天发货一线城市最快隔天可到！ |
|
|
|
|
|
本标准规定了硅片边缘轮廓的检验方法。
本检验方法适用于检验倒角硅片的边缘轮廓. |
|
|
|
| 标准状态： |
已作废 |
 替代情况： |
被YS/T 26-2016代替 |
| 中标分类： |
冶金>>半金属与半导体材料>>H81半金属 |
| ICS分类： |
电气工程>>29.045半导体材料 |
| 采标情况： |
ASTM F928-85 MOD |
| 发布部门： |
中国有色金属工业总公司 |
| 发布日期： |
1992-03-09 |
| 实施日期： |
1993-01-01
|
| 作废日期： |
2017-01-01
|
| 提出单位： |
中国有色金属工业总公司标准计量研究所 |
| 起草单位： |
洛阳单晶硅厂 |
| 起草人： |
王从赞、夏光勤 |
| 页数： |
3页 |
| 出版日期： |
1993-01-01 |
| 标准前页： |
浏览标准前文 || 下载标准前页 |
|
|
|
|
| |
|
客服中心 |
| 有问题？找在线客服 |
 |
|
|
|
|
温馨提示：标准更新替换较快，请注意您购买的标准时效性。 |
|
|
|
|
| 必备软件下载 |
| Adobe Acrobat Reader 是一个查看、
阅读和打印PDF文件的最佳工具，通
过它可以查阅本站的标准文档 |
 |
|
|
|