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电子工业用气体 高纯氯

国家标准
标准编号:GB/T 18994-2014 标准状态:现行
标准价格:29.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了高纯氯的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输和储存。
本标准适用于以工业液氯为原料,采用物理吸附等过程生产的高纯氯产品。该产品主要用于大规
模集成电路、光导纤维、高温超导、平板显示器、太阳能等技术领域。
分子式:Cl2。
相对分子质量:70.90(按2009年国际相对原子质量计算)。
英文名称:  Gases for electronic industry—High purity chlorine
什么是替代情况? 替代情况:  替代GB/T 18994-2003
什么是中标分类? 中标分类:  化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体
什么是ICS分类?  ICS分类:  化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
发布部门:  中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期:  2014-12-22
实施日期:  2015-07-01
提出单位:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)
什么是归口单位? 归口单位:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)
起草单位:  西南化工研究设计院有限公司、光明化工研究设计院有限公司、佛山市华特气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、太和气体(荆州)有限公司、上海仪盟科技有限公司
起草人:  周鹏云、常侠、廖恒易、方华、刘新明、汪正宏、杨任
页数:  12页
出版社:  中国标准出版社
出版日期:  2015-07-01
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前言
本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准代替 GB/T18994—2003《电子工业用气体 高纯氯》。与 GB/T18994—2003相比,除编辑性修改外主要技术内容变化如下:
———修改了范围(见第1章,2003年版的第1章);
———修改了规范性引用文件(见第2章,2003年版的第2章);
———修改了技术要求(见第3章,2003年版的第3章);
———修改了抽样、判定(见4.1,2003年版的第5章);
———删去了取样装置的规定(2003年版的4.1);
———修改了氧、氮、一氧化碳、二氧化碳、烃含量的测定方法(见4.3,2003年版的4.3、4.4);
———增加了氢含量的测定方法(见4.3);
———修改了水分含量的测定方法(见4.4,2003年版的4.5);
———增加了金属元素含量的测定方法(见4.5);
———修改了标志、包装、贮运及安全(见第5章,2003年版的第6、7章)。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
本标准起草单位:西南化工研究设计院有限公司、光明化工研究设计院有限公司、佛山市华特气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、太和气体(荆州)有限公司、上海仪盟科技有限公司。
本标准主要起草人:周鹏云、常侠、廖恒易、方华、刘新明、汪正宏、杨任。
本标准所代替标准的历次版本发布情况为:
———GB/T18994—2003。
引用标准
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