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英文名称: |
Gas for electronic industry - 5N hydrogen chloride |
标准状态: |
已作废 |
替代情况: |
被GB/T 14602-2014代替 |
中标分类: |
化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体 |
ICS分类: |
化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体 |
发布部门: |
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
发布日期: |
2009-10-15 |
实施日期: |
2009-12-01
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作废日期: |
2015-07-01
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首发日期: |
2009-10-15 |
提出单位: |
全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会(SAC/TC 203) |
归口单位: |
全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会(SAC/TC 203) |
主管部门: |
国家标准化管理委员会 |
起草单位: |
北京华宇同方化工科技开发有限公司、光明化工研究设计院、信息产业部标准化四所 |
起草人: |
张吉瑞、孙福楠、刘筠 |
计划单号: |
20070017-T-469 |
页数: |
16页 |
出版社: |
中国标准出版社 |
出版日期: |
2009-12-01 |