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| 英文名称： |
Electronic gas—Arsine |
| 标准状态： |
即将实施 |
 替代情况： |
替代GB/T 26250-2010 |
| 中标分类： |
化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体 |
| ICS分类： |
化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体 |
| 发布部门： |
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2025-04-25 |
| 实施日期： |
2025-11-01
即将实施 距离实施日期还有153天 |
| 提出单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
| 归口单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
| 起草单位： |
玉门大洋天庆石化有限责任公司、昊华气体有限公司西南分公司、上海栎智半导体科技有限公司、全椒南大光电材料有限公司、上海亿钶气体股份有限公司、北京普瑞分析仪器有限公司、浙江省标准化研究院、中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司、福建恒申电子材料科技有限公司等 |
| 起草人： |
马彬淇、马杰、潘华杰、任如、孙建、叶凯、乔洋、董建平、沈峰、史兰、崔雯、赵赛迪、吕磊、刘丹、孙福楠、郭琼、赖晓峰、王见见、依俊廷、杜雨桐、黄辉、李春华、杨金山、鲍光强、王大为、李明、常侠、牛迪、谈益强、尹乐乐、赵洁、何波、唐中伟、周鹏云、唐霞梅 |
| 页数： |
12页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |