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硅单晶抛光片
标准编号：
GB/T 12964-1996
标准状态：
已作废
标准价格：
15.0
元
客户评分：
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标准简介
英文名称：
Monocrystalline silicon polished wafers
标准状态：
已作废
替代情况：
GB 12964-1991
;被
GB/T 12964-2003
代替
中标分类：
冶金
>>
半金属与半导体材料
>>
H82元素半导体材料
ICS分类：
电气工程
>>
29.045半导体材料
采标情况：
SEMI M1-1990 MOD
发布日期：
1996-11-04
实施日期：
1997-04-01
作废日期：
2004-01-01
页数：
10页
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