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| 英文名称： |
Electronic gas—Carbonyl sulfide |
 中标分类： |
电子元器件与信息技术>>电子设备专用材料、零件、结构件>>L90电子技术专用材料 |
| ICS分类： |
31.030 |
| 发布部门： |
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2024-03-15 |
| 实施日期： |
2024-10-01
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| 提出单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
| 归口单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
| 起草单位： |
福建久策气体股份有限公司、河南心连心深冷能源股份有限公司、天津绿菱气体有限公司、中船 (邯郸)派瑞特种气体股份有限公司、华测检测认证集团股份有限公司、福建德尔科技股份有限公司、广东华特气体股份有限公司、金宏气体股份有限公司、江西华特电子化学品有限公司等 |
| 起草人： |
曹素英、毛玉凤、汤萍、吴禹强、郑梦杰、郑秋艳、倪珊珊、蔡金、黄斌斌、傅铸红、陈艳珊、金向华、孙猛、廖恒易、李磊、孙福楠、郭琼、胡迎、牛艳东、刘丽娜、阳辉、汪正宏、袁有录、杜大艳、曹小林、方强、尹爱华、王小波、何晖、李春胜、齐婕、朱安民、张孛媛、朱明等 |
| 页数： |
16页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |