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| 英文名称： |
Electronic grade ethyl orthosilicate |
 中标分类： |
电子元器件与信息技术>>电子设备专用材料、零件、结构件>>L90电子技术专用材料 |
| ICS分类： |
31.030 |
| 发布部门： |
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2024-04-25 |
| 实施日期： |
2024-11-01
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| 提出单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
| 归口单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
| 起草单位： |
金宏气体股份有限公司、湖北新蓝天新材料股份有限公司、武汉新硅科技潜江有限公司、江苏南大光电材料股份有限公司、南大光电半导体材料有限公司、中国电子技术标准化研究院、浙江中宁硅业股份有限公司、内蒙古兴洋科技股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司等 |
| 起草人： |
孙猛、金向华、赵俊莎、肖俊平、李楷东、吴怡然、曹可慰、赵斌、陶刚义、孙明璐、陈德义、冯琼华、向冲、王成、黄天次、万烨、张园园、郭树虎、戈士勇、戈烨铭、何珂、李冲合、甘俊、陈道伟、张明英 |
| 页数： |
20页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |