工标网 回首页
标准分类  最新标准New!  标准公告 标准动态  标准论坛
 高级查询
帮助 | 登录 | 注册
查标准上工标网 免费查询标准最新替代作废信息
 您的位置:工标网 >> >> GB/T 40109-2021

表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法

国家标准
标准编号:GB/T 40109-2021 标准状态:现行
标准价格:31.0 客户评分:星星星星1
立即购买工即可享受本标准状态变更提醒服务!
点击放入购物车 如何购买?问客服 放入收藏夹,免费跟踪本标准更替信息! 参与评论本标准
标准简介
本文件描述了用扇形磁场或四极杆式二次离子质谱仪对硅中硼进行深度剖析的方法,以及用触针式表面轮廓仪或光学干涉仪深度定标的方法。
本文件适用于硼原子浓度范围1×1016 atoms/cm3~1×1020 atoms/cm3的单晶硅、多晶硅或非晶硅样品,溅射弧坑深度在50 nm及以上。
英文名称:  Surface chemical analysis—Secondary-ion mass spectrometry—Method for depth profiling of boron in silicon
什么是中标分类? 中标分类:  化工>>化工综合>>G04基础标准与通用方法
什么是ICS分类?  ICS分类:  化工技术>>分析化学>>71.040.40化学分析
发布部门:  国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期:  2021-05-21
实施日期:  2021-12-01
提出单位:  全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
什么是归口单位? 归口单位:  全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
起草单位:  中国电子科技集团公司第四十六研究所
起草人:  马农农、何友琴、陈潇、张鑫、王东雪、李展平
页数:  16页
出版社:  中国标准出版社
出版日期:  2021-05-01
  [ 评论 ][ 关闭 ]

基础标准与通用方法相关标准 第1页 第2页 第3页 第4页 第5页 
 GB/T 40128-2021 表面化学分析 原子力显微术 二硫化钼片层材料厚度测量方法
 GB/T 40129-2021 表面化学分析 二次离子质谱 飞行时间二次离子质谱仪质量标校准
 GB/T 40244-2021 化学品 固液鉴别 流动性测定法
 GB/T 40300-2021 微束分析 分析电子显微学 术语
 GB/T 41064-2021 表面化学分析 深度剖析 用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱、俄歇电子能谱和二次离子质谱中深度剖析溅射速率的方法
 GB/T 41072-2021 表面化学分析 电子能谱 紫外光电子能谱分析指南
 GB/T 41073-2021 表面化学分析 电子能谱 X射线光电子能谱峰拟合报告的基本要求
 GB/T 41074-2021 微束分析 用于波谱和能谱分析的粉末试样制备方法
 GB/T 41076-2021 微束分析 电子背散射衍射 钢中奥氏体的定量分析
 GB/T 42310-2023 纳米技术 石墨烯粉体比表面积的测定 氩气吸附静态容量法
 免费下载基础标准与通用方法标准相关目录

化学分析相关标准 第1页 第2页 第3页 第4页 第5页 更多>> 
 GB/T 40185-2021 牙膏中5种氯铵类抗菌剂的检测方法 高效液相色谱法
 GB/T 40189-2021 牙膏中甲硝唑和诺氟沙星的测定 高效液相色谱法
 GB/T 40190-2021 牙膏中禁用漂白剂的测定 高效液相色谱法
 GB/T 40191-2021 牙膏中限用防腐剂的测定 高效液相色谱法
 GB/T 42360-2023 表面化学分析 水的全反射X射线荧光光谱分析
 GB/T 42518-2023 锗酸铋(BGO)晶体 痕量元素化学分析 辉光放电质谱法
 GB/T 42543-2023 表面化学分析 扫描探针显微术 悬臂梁法向弹性常数的测定
 GB/T 42659-2023 表面化学分析 扫描探针显微术 采用扫描探针显微镜测定几何量:测量系统校准
 GB/T 43098.1-2023 水处理剂分析方法 第1部分:磷含量的测定
 GB/T 43098.2-2023 水处理剂分析方法 第2部分:砷、汞、镉、铬、铅、镍、铜含量的测定 电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)
 免费下载化学分析标准相关目录

 发表留言
内 容
  用户:   口令:  
 
 
客服中心
有问题?找在线客服 点击和客服交流,我们的在线时间是:工作日8:30至18:00,节假日;9:00至17:00。工标网欢迎您和我们联系!
未开通400地区或小灵通请直接拨打0898-3137 2222 400-7255-888
客服QQ 1197428036 992023608
MSN或电子邮件 18976748618 13876321121
温馨提示:标准更新替换较快,请注意您购买的标准时效性。
常见问题 帮助中心
我为什么找不到我想要的标准?
配送范围、配送时间和收费标准
如何付款,支持哪些付款方式?
必备软件下载
Adobe Acrobat Reader 是一个查看、 阅读和打印PDF文件的最佳工具,通 过它可以查阅本站的标准文档
pdf下载
搜索更多
google 中搜索:GB/T 40109-2021 表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法
baidu 中搜索:GB/T 40109-2021 表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法
yahoo 中搜索:GB/T 40109-2021 表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法
soso 中搜索:GB/T 40109-2021 表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法
中搜索:GB/T 40109-2021 表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法
 
付款方式 - 关于我们 - 帮助中心 - 联系我们 - 诚聘英才 - 合作伙伴 - 使用条款
QQ:1197428036 992023608 有问题? 联系在线客服
Copyright © 工标网 2005-2023,All Right Reserved