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英文名称: |
Surface chemical analysis—Scanning probe microscopy—Standards on the definition and calibration of spatial resolution of electrical scanning probe microscopes(ESPMs) such as SSRM and SCM for 2D-dopant imaging and other purposes |
标准状态: |
即将实施 |
中标分类: |
化工>>化工综合>>G04基础标准与通用方法 |
ICS分类: |
化工技术>>分析化学>>71.040.40化学分析 |
发布部门: |
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 |
发布日期: |
2024-03-15 |
实施日期: |
2024-10-01
即将实施 距离实施日期还有10天 |
提出单位: |
全国微束标准化技术委员会(SAC/TC 38) |
归口单位: |
全国微束标准化技术委员会(SAC/TC 38) |
起草单位: |
中山大学、广东工业大学、暨南大学 |
起草人: |
龚力、杨慕紫、陈瑜、张浩、谢伟广、谢方艳、丁喜冬、陈建 |
页数: |
20页【彩图】 |
出版社: |
中国标准出版社 |