真空溅射镀膜设备 |
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| 标准编号：JB/T 8945-2010 |
标准状态：现行 |
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| 标准价格：10.0 元 |
客户评分：  |
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本标准规定了真空溅射镀膜设备的基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。
本标准适用于压力在1×10-1Pa～1×10-3Pa范围的真空溅射镀膜设备。 |
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| 英文名称： |
Vacuum sputtering coating plant |
 替代情况： |
替代JB/T 8945-1999 |
| 中标分类： |
机械>>通用机械与设备>>J78真空技术与设备 |
| ICS分类： |
流体系统和通用件>>23.160真空技术 |
| 发布部门： |
中华人民共和国工业和信息化部 |
| 发布日期： |
2010-02-11 |
| 实施日期： |
2010-07-01
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| 归口单位： |
全国真空技术标委会 |
| 起草单位： |
广东中环真空设备有限公司;成都南光机器有限公司;大连远东真空技术有限公司;沈阳真空技术研究所 |
| 出版社： |
机械工业出版社 |
| 出版日期： |
2010-07-01 |
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