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真空镀膜设备通用技术条件

国家标准
标准编号:GB/T 11164-1999 标准状态:已作废
标准价格:24.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了真空镀膜设备技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。本标准适用于压力在10-1~10-3Pa范围的蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备。
英文名称:  Vacuum coating plant generic specification
标准状态:  已作废
什么是替代情况? 替代情况:  GB/T 11164-1989;被GB/T 11164-2011代替
什么是中标分类? 中标分类:  机械>>通用机械与设备>>J78真空技术与设备
什么是ICS分类?  ICS分类:  流体系统和通用件>>23.160真空技术
发布部门:  国家质量技术监督局
发布日期:  1999-04-08
实施日期:  1999-09-01
作废日期:  2012-06-01
首发日期:  1989-03-31
复审日期:  2004-10-14
什么是归口单位? 归口单位:  全国真空技术标准化技术委员会
主管部门:  中国机械工业联合会
起草单位:  上海通用机械研究所
页数:  平装16开, 页数:8, 字数:9千字
出版社:  中国标准出版社
书号:  155066.1-16228
出版日期:  2004-04-09
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