| 标准编号 |
标准名称 |
发布部门 |
实施日期 |
状态 |
| SJ/T 31091-1994 |
晶片内圆切片机完好要求和检查评定方法 |
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1997-01-01 |
现行 |
| SJ/T 31092-1994 |
晶片数控切割(划片)机完好要求和检查评定方法 |
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1997-01-01 |
现行 |
| SJ/T 31093-1994 |
陶瓷劈刀外圆磨床完好要求和检查评定方法 |
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1997-01-01 |
现行 |
| SJ/T 31094-1994 |
CLP-30陶瓷劈刀研磨机完好要求和检查评定方法 |
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1997-01-01 |
废止 |
| SJ/T 31095-1994 |
劈刀研磨装置完好要求和检查评定方法 |
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1997-01-01 |
废止 |
| SJ/T 31096-1994 |
精密硅片磨床完好要求和检查评定方法 |
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1997-01-01 |
现行 |
| SJ/T 31097-1994 |
TDH-4C4TO型去飞边机完好要求和检查评定方法 |
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1997-01-01 |
废止 |
| SJ/T 31098-1994 |
LH型液体去飞边机完好要求和检查评定方法 |
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1997-01-01 |
废止 |
| SJ/T 31099-1994 |
倒角机完好要求和检查评定方法 |
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1997-01-01 |
现行 |
| SJ 3110-1988 |
冷冲模 Ⅰ型固定导板模纵向送料垫板 |
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1988-10-01 |
废止 |
| SJ/T 31100-1994 |
离子束蚀刻机完好要求和检查评定方法 |
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1997-01-01 |
现行 |
| SJ/T 31101-1994 |
贴片机完好要求和检查评定方法 |
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1997-01-01 |
现行 |
| SJ/T 31102-1994 |
142型翻版机完好要求和检查评定方法 |
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1997-01-01 |
废止 |
| SJ/T 31103-1994 |
786-HT型分选机完好要求和检查评定方法 |
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1997-01-01 |
废止 |
| SJ/T 31104-1994 |
分选机完好要求和检查评定方法 |
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1997-01-01 |
废止 |
| SJ/T 31105-1994 |
DRS-Ⅱ840型激光修版机完好要求和检查评定方法 |
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1997-01-01 |
废止 |
| SJ/T 31106-1994 |
PPT-10型膜片成型机完好要求和检查评定方法 |
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1997-01-01 |
废止 |
| SJ/T 31107-1994 |
ZDS-1型电泳机完好要求和检查评定方法 |
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1997-01-01 |
废止 |
| SJ/T 31108-1994 |
CG3000型单晶炉完好要求和检查评定方法 |
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1997-01-01 |
废止 |
| SJ/T 31109-1994 |
高压单晶炉完好要求和检查评定方法 |
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1997-01-01 |
废止 |
| SJ 3111-1988 |
冷冲模 Ⅰ型固定导板模纵向送料固定板 |
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1988-10-01 |
废止 |
| SJ/T 31110-1994 |
AMV-1284型硅外延炉完好要求和检查评定方法 |
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1997-01-01 |
废止 |
| SJ/T 31111-1994 |
AMC-7811/21型桶式外延炉完好要求和检查评定方法 |
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1997-01-01 |
废止 |
| SJ/T 31112-1994 |
WGK型微控扩散系统完好要求和检查评定方法 |
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1997-01-01 |
废止 |
| SJ/T 31113-1994 |
DB-3型电子束曝光机完好要求和检查评定方法 |
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1997-01-01 |
废止 |
| SJ/T 31114-1994 |
TY系列辊道推板窑完好要求和检查评定方法 |
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1997-01-01 |
废止 |
| SJ/T 31115-1994 |
精缩机完好要求和检查评定方法 |
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1997-01-01 |
废止 |
| SJ/T 31116-1994 |
PLA-501F型光刻机完好要求和检查评定方法 |
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1997-01-01 |
废止 |
| SJ/T 31117-1994 |
15B型磨片机完好要求和检查评定方法 |
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1997-01-01 |
废止 |
| SJ/T 31118-1994 |
RS-H80H型外圆 磨机完好要求和检查评定方法 |
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1997-01-01 |
废止 |
| SJ/T 31119-1994 |
掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法 |
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1997-01-01 |
现行 |
| SJ 3112-1988 |
冷冲模 Ⅰ型固定导板模横向送料上模座 |
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1988-10-01 |
废止 |
| SJ/T 31120-1994 |
KSM-MJB3型掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法 |
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1997-01-01 |
废止 |
| SJ/T 31121-1994 |
JB-VⅡ型掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法 |
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1997-01-01 |
废止 |
| SJ/T 31122-1994 |
四探针测试仪完好要求和检查评定方法 |
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1997-01-01 |
废止 |
| SJ/T 31123-1994 |
自动多探针测试台完好要求和检查评定方法 |
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1997-01-01 |
废止 |
| SJ/T 31124-1994 |
AEC-2200型常压CVD完好要求和检查评定方法 |
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1997-01-01 |
废止 |
| SJ/T 31125-1994 |
PET-5500型常压CVD完好要求和检查评定方法 |
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1997-01-01 |
废止 |
| SJ/T 31126-1994 |
YL-1型MOCVD设备完好要求和检查评定方法 |
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1997-01-01 |
废止 |
| SJ/T 31127-1994 |
MP010型多功能可焊性测试设备完好要求和检查评定方法 |
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1997-01-01 |
废止 |