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晶片通用网格规范

国家标准
标准编号:GB/T 16595-1996 标准状态:已作废
标准价格:20.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了可用于定量描述公称圆形半导体晶片表面缺陷的网格图形。
英文名称:  Specification for a universal wafer grid
标准状态:  已作废
什么是替代情况? 替代情况:  GB/T 16595-2019代替
什么是中标分类? 中标分类:  冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法
什么是ICS分类?  ICS分类:  电气工程>>29.045半导体材料
什么是采标情况? 采标情况:  =SEMI M17-90
发布部门:  国家技术监督局
发布日期:  1996-01-01
实施日期:  1997-04-01
作废日期:  2020-02-01
首发日期:  1996-11-04
复审日期:  2004-10-14
什么是归口单位? 归口单位:  全国半导体材料和设备标准化技术委员会
主管部门:  国家标准化管理委员会
起草单位:  中国有色金属工业总公司
页数:  平装16开, 页数:7, 字数:10千字
出版社:  中国标准出版社
出版日期:  1997-04-01
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