异质结电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备 |
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| 标准编号：T/CPIA 0065-2024 |
标准状态：现行 |
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| 标准价格：0.0 元 |
客户评分：  |
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本文件规定了本征薄膜异质结电池用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备的术语和定义、工作环境、设备要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、搬运和运输、贮存等。
本文件适用于本征薄膜异质结电池用PECVD设备。产品主要用于沉积多种薄膜材料，例如非晶硅、微晶硅、二氧化硅、氮化硅薄膜等本征薄膜材料等。 |
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| 英文名称： |
Plasma enhanced chemical vapor deposition(PECVD) equipment used for heterojunctionphotovoltaic cells |
 中标分类： |
能源、核技术>>能源>>F12太阳能 |
| ICS分类： |
能源和热传导工程>>27.160太阳能工程 |
| 发布日期： |
2024-03-10 |
| 实施日期： |
2024-03-15
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| 提出单位： |
中国光伏行业协会标准化技术委员会 |
| 归口单位： |
中国光伏行业协会标准化技术委员会 |
| 起草单位： |
中国电子技术标准化研究院、理想万里晖半导体设备（上海）股份有限公司、隆基绿能科技股份有限公司、湖南红太阳光电科技有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司等 |
| 起草人： |
王赶强、王慧慧、庄天奇、马哲国、卢俊雄、吴易龙、江伟、朱海剑、张洪旺、周光大、朱晨、刘松民、周春华、谈剑豪 |
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本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由中国光伏行业协会标准化技术委员会提出。
本文件由中国光伏行业协会标准化技术委员会归口。
本文件起草单位:中国电子技术标准化研究院、理想万里晖半导体设备(上海)股份有限公司、隆基绿能科技股份有限公司、湖南红太阳光电科技有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、常州捷佳创精密机械有限公司、无锡帝科电子材料股份有限公司、杭州福斯特应用材料股份有限公司、江苏乾景睿科新能源有限公司、浙江润海新能源有限公司、江苏爱康能源研究院有限公司。
本文件主要起草人:王赶强、王慧慧、庄天奇、马哲国、卢俊雄、吴易龙、江伟、朱海剑、张洪旺、周光大、朱晨、刘松民、周春华、谈剑豪。 |
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