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| 英文名称： |
Electronic specialty gas—Hexachlorodisilane |
 中标分类： |
化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体 |
| ICS分类： |
化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体 |
| 发布部门： |
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2023-08-06 |
| 实施日期： |
2024-03-01
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| 提出单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
| 归口单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
| 起草单位： |
洛阳中硅高科技有限公司、昊华气体有限公司、亚洲硅业(青海)股份有限公司、中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司、福建久策气体股份有限公司、湖州市南浔区佰通标准化研究院、广东华特气体股份有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、江西华特电子化学品有限公司等 |
| 起草人： |
万烨、王娟、张园园、付梦月、严大洲、郭琼、陈海宝、魏东亮、柳彤、沙婷、曹素英、陈辉、张天泽、廖恒易、陈艳珊、金向华、孙猛、傅铸红、欧基友、牛艳东、刘丽娜、张广第、马彬淇、杜大艳、曹小林、方强、袁有录、陶刚义、杨华志、华祥斌、李纪明、沈俊、李楷东、阳辉等 |
| 页数： |
20页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |