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靶材与背板结合强度测试方法

国家标准
标准编号:GB/T 39163-2020 标准状态:现行
标准价格:31.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了靶材与背板结合强度测试方法。
本标准适用于微电子领域镀膜用靶材与背板结合强度测试方法。
英文名称:  Test methods of the bonding strength for target-backing plate assemblies
什么是中标分类? 中标分类:  冶金>>金属理化性能试验方法>>H22金属力学性能试验方法
什么是ICS分类?  ICS分类:  试验>>19.060机械试验
发布部门:  国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期:  2020-11-19
实施日期:  2021-10-01
提出单位:  中国有色金属工业协会
什么是归口单位? 归口单位:  全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
起草单位:  有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院、宁波江丰电子材料股份有限公司、山东淄博汉能薄膜太阳能有限公司、贵研铂业股份有限公司
起草人:  丁照崇、陈明、赵永善、熊晓东、贺昕、林若虚、李勇军、张晓娜、曹欢欢、王云能、袁海军、李利利、曹晓萌、张静、王传军
页数:  16页
出版社:  中国标准出版社
出版日期:  2020-11-01
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