基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法 |
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| 标准编号：GB/T 38614-2020 |
标准状态：现行 |
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| 标准价格：38.0 元 |
客户评分：  |
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本标准规定了基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台（以下简称为平台）的测量条件、测量系统和测量方法。本标准适用于平台的研究、设计、生产、检测及使用。 |
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| 英文名称： |
Measurement method for nano positioning and scanning stage based on flexure hinge mechanism and piezo actuator |
 中标分类： |
仪器、仪表>>工业自动化仪表与控制装置>>N10工业自动化与控制装置综合 |
| ICS分类： |
综合、术语学、标准化、文献>>词汇>>01.040.39精密机械、珠宝 (词汇) |
| 发布部门： |
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2020-04-28 |
| 实施日期： |
2020-11-01
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| 提出单位： |
全国电子测量仪器标准化技术委员会(SAC/TC 153) |
| 归口单位： |
全国电子测量仪器标准化技术委员会(SAC/TC 153) |
| 起草单位： |
沈阳建筑大学、三英精控(天津)仪器设备有限公司、广东工业大学、中国计量科学研究院、苏州昊通仪器科技有限公司、沈阳理工大学 |
| 起草人： |
须颖、戴敬、邵萌、安冬、施玉书、贾静、戴超、文杰、石怀涛 |
| 页数： |
20页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 出版日期： |
2020-04-01 |
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