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| 英文名称： |
Electronic grade trimethylaluminium |
 中标分类： |
化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体 |
| ICS分类： |
化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体 |
| 发布部门： |
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2018-09-17 |
| 实施日期： |
2019-01-01
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| 提出单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
| 归口单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
| 主管部门： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
| 起草单位： |
江苏南大光电材料股份有限公司、中国电子技术标准化研究院 |
| 起草人： |
陈化冰、孙明璐、王香、曹可慰 |
| 页数： |
12页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 出版日期： |
2018-09-01 |