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| 英文名称： |
Guide for gaseous effluent handling in semiconductor industry |
 中标分类： |
化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体 |
| ICS分类： |
化工技术>>分析化学>>71.040.40化学分析 |
| 发布部门： |
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2017-11-01 |
| 实施日期： |
2018-05-01
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| 提出单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
| 归口单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
| 起草单位： |
中昊光明化工研究设计院有限公司、西南化工研究设计院有限公司、高麦仪器公司、广东华特气体股份有限公司、东莞市联臣电子科技有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海市计量测试技术研究院 |
| 起草人： |
孙福楠、牛艳东、廖恒易、杜汉盛、王鸿、方华、陈鹰、周鹏云 |
| 页数： |
24页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |