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| 英文名称： |
Surface chemical analysis—Secondary-ion mass spectrometry—Method for depth profiling of arsenic in silicon |
 中标分类： |
化工>>化工综合>>G04基础标准与通用方法 |
| ICS分类： |
化工技术>>分析化学>>71.040.40化学分析 |
| 采标情况： |
ISO 12406:2010 |
| 发布部门： |
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2016-02-24 |
| 实施日期： |
2017-01-01
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| 复审日期： |
2023-12-28 |
| 提出单位： |
全国微束标准化技术委员会(SAC/TC 38) |
| 归口单位： |
全国微束标准化技术委员会(SAC/TC 38) |
| 起草单位： |
中国电子科技集团公司第四十六研究所 |
| 起草人： |
马农农、陈潇、何友琴、王东雪 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 出版日期： |
2017-01-01 |
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