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X光电子能谱中荷电控制和荷电基准技术标准指南

国家标准
标准编号:GB/T 31472-2015 标准状态:现行
标准价格:31.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了 X射线光电子能谱(XPS)的荷电控制和荷电基准技术。
本标准适用于 XPS荷电控制和荷电定位技术,不适用于其他电子激发系统。
英文名称:  Standard guide to charge control and charge referencing techniques in X-ray photoelectron spectroscopy
什么是中标分类? 中标分类:  仪器、仪表>>电工仪器仪表>>N26综合测试系统
什么是ICS分类?  ICS分类:  计量学和测量、物理现象>>电学、磁学、电和磁的测量>>17.220.20电和磁量值的测量
发布部门:  中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期:  2015-05-15
实施日期:  2016-01-01
提出单位:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)
什么是归口单位? 归口单位:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)
起草单位:  信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司、天津中环领先材料技术有限公司
起草人:  李雨辰、何秀坤、刘筠、刘兵、李翔
页数:  16页
出版社:  中国标准出版社
出版日期:  2016-01-01
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前言
本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
本标准起草单位:信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司、天津中环领先材料技术有限公司。
本标准主要起草人:李雨辰、何秀坤、刘筠、刘兵、李翔。
引用标准
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