硅衬底中氮浓度的二次离子质谱测量方法 |
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| 标准编号：SJ/T 11493-2015 |
标准状态：已废止 |
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| 标准价格：0.0 元 |
客户评分：  |
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本标准规定了用二次离子质谱法（SIMS）对硅衬底单晶体材料中氮总浓度的测试方法。 |
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| 标准状态： |
已废止 |
 替代情况： |
公告：中华人民共和国工业和信息化部公告 2024年第17号 |
| 发布部门： |
中华人民共和国工业和信息化部 |
| 发布日期： |
2015-04-30 |
| 实施日期： |
2015-10-01
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| 作废日期： |
2024-07-11
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| 复审日期： |
2024-07-11 |
| 出版社： |
工业和信息化部电子工业标准化研究院组织出版 |
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