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英文名称: |
Determination of total carbon content in trichlorosilane for silicon eqitaxy—Gas chromatographic method |
中标分类: |
冶金>>金属化学分析方法>>H17半金属及半导体材料分析方法 |
ICS分类: |
冶金>>金属材料试验>>77.040.30金属材料化学分析 |
发布部门: |
中华人民共和国工业和信息化部 |
发布日期: |
2015-04-30 |
实施日期: |
2015-10-01
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提出单位: |
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243) |
归口单位: |
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243) |
主管部门: |
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243) |
起草单位: |
中锗科技有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、新特能源股份有限公司 |
起草人: |
刘英杰、郑华荣、柯尊斌、刘新军、赵建为、王桃霞、张京、张云晖、杨红燕、陈喜清、杨帅 |
页数: |
12页 |
出版社: |
中国标准出版社 |
出版日期: |
2015-10-01 |