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| 英文名称： |
Nondestructive test method for micropipe density of polished monocrystalline silicon carbide wafers |
 中标分类： |
冶金>>金属理化性能试验方法>>H26金属无损检验方法 |
| ICS分类： |
冶金>>金属材料试验>>77.040.99金属材料的其他试验方法 |
| 发布部门： |
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2014-12-31 |
| 实施日期： |
2015-09-01
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| 提出单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2) |
| 归口单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2) |
| 主管部门： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/T |
| 起草单位： |
北京天科合达蓝光半导体有限公司、中国科学院物理研究所 |
| 起草人： |
陈小龙、郑红军、张玮、郭钰、刘振洲 |
| 页数： |
8页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 书号： |
155066·1-50709 |
| 出版日期： |
2015-09-01 |