原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法 |
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| 标准编号：GB/T 31227-2014 |
标准状态：现行 |
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| 标准价格：29.0 元 |
客户评分：  |
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本标准规定了使用原子力显微镜(AFM)测量表面粗糙度的方法。
本标准适用于测量溅射成膜方法生成的、平均粗糙度Ra 小于100nm 的薄膜。
其他非溅射薄膜的表面粗糙度的测量可以参考此方法。 |
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| 英文名称： |
Test method for the surface roughness by atomic force microscope for sputtered thin films |
 中标分类： |
机械>>机械综合>>J04基础标准与通用方法 |
| ICS分类： |
计量学和测量、物理现象>>长度和角度测量>>17.040.20表面特征 |
| 发布部门： |
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2014-09-30 |
| 实施日期： |
2015-04-15
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| 提出单位： |
中国科学院 |
| 归口单位： |
全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC279) |
| 起草单位： |
上海交通大学、纳米技术及应用国家工程研究中心 |
| 起草人： |
李慧琴、梁齐、路庆华、何丹农、张冰 |
| 页数： |
12页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 出版日期： |
2015-04-15 |
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本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由中国科学院提出。
本标准由全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC279)归口。
本标准起草单位:上海交通大学、纳米技术及应用国家工程研究中心。
本标准起草人:李慧琴、梁齐、路庆华、何丹农、张冰。 |
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