电子薄膜用高纯钛溅射靶材 |
 |
| 标准编号：YS/T 893-2013 |
标准状态：现行 |
|
| 标准价格：16.0 元 |
客户评分：  |
|
|
本标准有现货可当天发货一线城市最快隔天可到！ |
|
|
|
|
|
本标准规定了电子薄膜用高纯钛溅射靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明与合同(订单)等内容。
本标准适用于电子薄膜制造用的各类钛溅射靶材。 |
|
|
|
| 英文名称： |
High-purity sputtering titanium target used in electronic film |
 中标分类： |
冶金>>有色金属及其合金产品>>H64稀有轻金属及其合金 |
| ICS分类： |
冶金>>有色金属产品>>77.150.50钛产品 |
| 发布部门： |
中华人民共和国工业和信息化部 |
| 发布日期： |
2013-10-17 |
| 实施日期： |
2014-03-01
|
| 归口单位： |
全国有色金属标准化技术委员(SAC/TC 243) |
| 主管部门： |
全国有色金属标准化技术委员(SAC/TC 243) |
| 起草单位： |
有研亿金新材料股份有限公司、宁波江丰电子材料有限公司 |
| 起草人： |
何金江、董亭义、袁海军、罗俊锋、滕海涛、喻洁、贺昕、钱红兵、周辰、刘丹、陆灵芝、王学泽、熊晓东 |
| 页数： |
12页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 出版日期： |
2014-03-01 |
|
|
|
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员(SAC/TC243)归口。
本标准起草单位:有研亿金新材料股份有限公司、宁波江丰电子材料有限公司。
本标准主要起草人:何金江、董亭义、袁海军、罗俊锋、滕海涛、喻洁、贺昕、钱红兵、周辰、刘丹、陆灵芝、王学泽、熊晓东。 |
|
|
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T1031 产品几何技术规范(GPS) 表面结构 轮廓法 表面粗糙度参数及其数值
GB/T4698.7 海绵钛、钛及钛合金化学分析方法 氧量、氮量的测定
GB/T4698.14 海绵钛、钛及钛合金化学分析方法 碳量的测定
GB/T4698.15 海绵钛、钛及钛合金化学分析方法 氢量的测定
GB/T6394 金属平均晶粒度测定方法
GJB1580A 变形金属超声检验方法
YS/T837 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法
YS/T891 高纯钛化学分析方法 痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法
YS/T892 高纯钛化学分析方法 痕量杂质元素的测定 电感耦合等离子体质谱法 |
|
|
|
| |