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英文名称: |
Electronic grade phosphoric acid |
中标分类: |
电子元器件与信息技术>>电子设备专用材料、零件、结构件>>L90电子技术专用材料 |
ICS分类: |
31.030 |
发布部门: |
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
发布日期: |
2011-12-30 |
实施日期: |
2012-07-01
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首发日期: |
2011-12-30 |
提出单位: |
全国半导体设备和材料标准化委员会(TC 203) |
归口单位: |
全国半导体设备和材料标准化委员会(TC 203) |
主管部门: |
国家标准化管理委员会 |
起草单位: |
四川成洪磷化工有限责任公司、江苏江阴市润玛电子材料有限公司、湖北兴发化工集团股份有限公司、苏州电子材料厂有限公司、苏州晶瑞化学有限公司 |
起草人: |
李全东、肖遥、王文武、戈士勇、何珂、李少平、钟尉、尤家栋、刘兵 |
页数: |
20页 |
出版社: |
中国标准出版社 |
出版日期: |
2012-07-01 |