硅单晶微缺陷的化学腐蚀检验方法 |
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| 标准编号：GB 4057-1983 |
标准状态：已作废 |
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| 标准价格：8.0 元 |
客户评分：  |
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本标准行之有效用于电阻率10-1~104Ω.cm的硅单晶。 |
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| 英文名称： |
Singie crystal sllicon-Detection of microdefects-Chemical etching technique |
| 标准状态： |
已作废 |
 替代情况： |
被GB/T 1554-1995代替 |
| 中标分类： |
冶金>>金属理化性能试验方法>>H25金属化学性能试验方法 |
| UDC分类： |
669.782;548.55;620.193.4 |
| 发布日期： |
1983-12-20 |
| 实施日期： |
1984-12-01
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| 起草单位： |
峨眉半导体材料研究所 |
| 页数： |
3页 |
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