气体质量流量控制器通用技术条件 |
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| 标准编号：SJ/T 10583-1994 |
标准状态：已作废 |
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| 标准价格：18.0 元 |
客户评分：  |
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本标准规定了气体质量流量控制器的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于采用毛细管传热温差量热法原理进行测量的气体质量流量控制器（以下简称控制器）。该控制器广泛应用于半导体集成电路工艺设备、光纤熔炼，以及化工、冶金、卫生等部门。 |
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| 英文名称： |
General specification for gas mass flow controller |
| 标准状态： |
已作废 |
 替代情况： |
被SJ/T 10583-2016代替 |
| 中标分类： |
电子元器件与信息技术>>电子工业生产设备>>L98检验装用设备 |
| 发布部门： |
中华人民共和国电子工业部 |
| 发布日期： |
1994-08-08 |
| 实施日期： |
1994-12-01
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| 作废日期： |
2016-09-01
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| 提出单位： |
中华人民共和国电子工业部 |
| 归口单位： |
电子工业部标准化研究所 |
| 起草单位： |
北京建中机器厂 |
| 起草人： |
龚光祥、刘学俭、钱祖权 |
| 页数： |
16页 |
| 出版日期： |
1994-12-01 |
| 标准前页： |
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